分野

機械・精密

概要

172nmエキシマランプを採用。コンパクトな設計で軽量な為、移動据付が簡単かつ狭いスペースでも使用可能。照射エリア150×70mm（エキシマランプ２本で対応）灯具・電源一体型、小型ブロワ内蔵でオゾン排気処理も簡単。内蔵タイマーにより、秒単位で照射時間設定可能。フィルム・光学系ガラス・ウェハ・ガラス基板等微細対応への表面改質・洗浄装置として最適です。エキシマランプを共同開発しております宮崎大学発ベンチャー(株)NTPのVuV装置は126nmの波長で、更に新しい世代への洗浄が可能になります。