分野

環境・エネルギー

概要

WO₃は大気汚染物質であるNO₂濃度に対して大きな抵抗値変化を示す酸化物半導体である。比表面積の大きなナノWO₃粒子膜はガスセンサー材料として優れた性質を持っている。本技術のガス中蒸着法によりWO₃粒子膜を作製したが、水溶液中の析出や熱分解で得られるナノ粒子膜とは異なり、電極膜を備えた基板上にWO₃粒子を均一に堆積させ、熱処理も容易なことを確認した。本法により高感度のNO₂センサーを製作した。