分野

機械・精密

概要

ポーラスカーボンパッドは、機械用高強度カーボンをベースに開発した通気性を持つ多孔質焼結カーボンです。均一な気孔径、気孔率をもつため、各種流体を透過させる性質があり、流体は全体から均一に通過します。450mmウェーハや大型ガラス基板に対応した精密吸着盤、軸受性能に優れたエアベアリング、流体静力学を応用したノンコンタクトキャッチングとして御使用頂いております。