【ブース番号:T-32】
区分:企業
集束イオンビーム加工装置を用いて、金属・半導体をナノスケールで超微細に加工、試験します。
所在地〒919-1205 福井県三方郡美浜町佐田64号 TEL0770-37-9100 FAX0770-37-2008
分野研究機関 概要ナノスケールで材料を超微細加工可能な集束イオンビーム(FIB)加工を活用することで、材料を構成している微視組織(結晶粒界や析出物、第二相等)からミクロンサイズの超微小試験片を作製可能です。さらに、我々が開発したFIB加工装置や透過型電子顕微鏡内でその場観察しながら引張試験が可能な装置と組み合わせることで、これまで得られなかった特定の微小領域の機械的性質や界面等の破壊挙動の直接計測が可能となります。 |
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